中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術(shù)研究所反應(yīng)離子刻蝕機招標

發(fā)布日期：2022-04-26

反應(yīng)離子刻蝕機項目已具備招標條件。資金來源100%自籌資金。受中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術(shù)研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際招標采購。
1.招標范圍
1.1貨物名稱：反應(yīng)離子刻蝕機
1.2招標編號：
1.3設(shè)備組成及技術(shù)性能：
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1.3.2技術(shù)性能
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1.3.2.2上電極：上電極采用鉸鏈，開腔時無需將整個反應(yīng)腔升起；上電極中央配置用于原位檢測的光學窗口。
1.3.2.3射頻源：射頻發(fā)生器：頻率13.56MHz，功率≥600W；可預(yù)選和控制正向功率或直流偏置電壓；測量、顯示正向功率和直流偏置電壓。
1.3.2.4真空系統(tǒng)：反應(yīng)腔室配有前級泵及渦輪分子泵；采用防腐蝕渦輪分子泵，抽速≥340L/s；
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1.3.2.6預(yù)真空室Loadlock：配置氣動傳送機構(gòu)和透明上蓋，自動、平穩(wěn)地裝卸樣品；配置單獨的干泵和真空計，本底真空≤10-1mbar；真空漏率<5×10-4mbar?L/s。腔室可單獨用氮氣吹掃。
1.4數(shù)量：1臺（套）。
1.5交貨期：合同簽訂后8個月內(nèi)交貨。
1.6項目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術(shù)研究所。
2.對投標人的資格要求
2.1投標人具有獨立法人資格，提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。
2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供授權(quán)書。
2.3本次招標不接受聯(lián)合體投標。
2.4投標人必須向招標代理機構(gòu)購買招標文件并進行登記才具有投標資格；接受委托參與項目前期咨詢和招標文件編制的法人或其他組織不得參加投標。
3.招標文件獲取
3.1凡有意參加投標者，請于2022年4月26日至2022年5月6日17時(北京時間)。
3.2招標文件售價800元，售后不退。


友情提醒：報名前與下方聯(lián)系人索取投標登記表，以及辦理后續(xù)事宜。
聯(lián)系人：郝亮
手機：13146799092
郵箱：1094372637@qq.com
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